廈門(mén)太星機(jī)電生產(chǎn)批發(fā)-半導(dǎo)體真空泵維修-泉州半導(dǎo)體真空泵

廈門(mén)太星機(jī)電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和銷售及維修工程師團(tuán)隊(duì)組成，公司提供國(guó)外及國(guó)內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴(kuò)散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測(cè)量，真空泵油及其備品備件。

鍋爐內(nèi)泵油的不穩(wěn)定沸騰，會(huì)使噴出的蒸汽射流的密度波動(dòng)，從而引起抽速和輕氣體壓縮比的變化。鍋爐可能一時(shí)過(guò)熱，使之有一段爆沸的時(shí)間，其補(bǔ)救的辦法是在現(xiàn)代的油擴(kuò)散泵中采用有翼片的鍋爐，增加內(nèi)表面積，降低熱流密度，增加功率能使爆沸減低到小或消除。在真空中，強(qiáng)力的爆沸，會(huì)引起自爆升騰，對(duì)噴咀，引起瞬間堵塞，造成汽流波動(dòng)。泵內(nèi)加防爆板可以防止爆沸的影響，因?qū)p氣體壓縮比低，可引起壓力的不穩(wěn)定，增加功率和泵的級(jí)數(shù)是有利的。在擴(kuò)散泵中設(shè)置側(cè)面出口噴射噴咀和擴(kuò)壓器，可使擴(kuò)散泵這種不穩(wěn)定性減至小。頂噴咀帽過(guò)冷也會(huì)引起蒸汽流不連續(xù)，導(dǎo)致壓力的不穩(wěn)定。設(shè)法保持頂噴咀的溫度不降，不使其過(guò)冷。來(lái)自橡膠密封的氣泡，有時(shí)油捕集氣體，通過(guò)密封膠圈滲透放出，因氣泡有一定壓力使油膜后進(jìn)入系統(tǒng)中。密封槽內(nèi)集存的泵油應(yīng)能排出，可使不穩(wěn)定減少，若用金屬墊圈就更好了。設(shè)計(jì)良好的冷帽能防止油滴落到頂噴咀的熱表面上蒸發(fā)。在用碳?xì)浠衔锉糜蜁r(shí)，操作不當(dāng)，擴(kuò)散泵系統(tǒng)有發(fā)生的危險(xiǎn)。大多數(shù)情況下規(guī)管的燈絲就是點(diǎn)火源。泵的日常操作要規(guī)范，定期檢查泵油的質(zhì)和量。

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利用水冷擋油帽，使泵的抽速稍有損失外，可使返油率降低。對(duì)于許多應(yīng)用場(chǎng)合是允許的。若在系統(tǒng)附加些管道、閥門(mén)和彎管，可使真空室的返流降低1/10~1/1000。若利用水冷式的光學(xué)密閉的障板，可限制主要返流，但使泵的抽速約下降50%。次要的返流（即冷凝在表面上的泵油遷移和再蒸發(fā)是表面溫度和泵油蒸汽壓的函數(shù)，到達(dá)真空室的這種返流量取決于設(shè)置在泵與真空室之間的冷阱的幾何形狀和溫度，常用液氮（ 77K）冷阱來(lái)捕集油分子。因此真空室的壓力明顯地低于泵油的蒸汽壓。障板或冷阱不僅必須光學(xué)密閉，而且還必須使進(jìn)入障板或冷阱的油分子與冷面少碰撞一次。對(duì)于使用吸附劑（如沸石）的障板，為避免油分子直線飛行，要設(shè)置交錯(cuò)的吸附劑托盤(pán)。沸石是一種含有直徑比氣體分子直徑稍大的微孔物質(zhì)。1盎司（ 28.35g）沸石內(nèi)部約有5英畝吸附面積，在小型超高真空系統(tǒng)中，使用分子吸附劑障板是有效的。因?yàn)樵诘蛪合拢趲讉€(gè)星期內(nèi)它能連續(xù)地吸附碳?xì)浠衔锖推渌鼩怏w，并不需要液氮。

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擴(kuò)散泵維修保養(yǎng)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行烘烤去氣處理。對(duì)玻璃系統(tǒng)而言，硬玻璃烘烤溫度為400℃～450℃ ，軟玻璃為350℃～400℃ 。去氣時(shí)間視具體要求而定，一般1～2小時(shí)。去氣完后，真空度仍達(dá)不到要求，應(yīng)使用電離計(jì)記P-t曲線，以判斷是否漏氣。亦可用、酒精等涂抹處，看表針的擺動(dòng)以發(fā)現(xiàn)漏孔。若為去氣不良，應(yīng)進(jìn)一步烘烤，加長(zhǎng)時(shí)間去氣。新系統(tǒng)一般要抽較長(zhǎng)時(shí)間才能達(dá)到預(yù)期的真空度。真空度老上不去，則要考慮系統(tǒng)設(shè)計(jì)、安裝是否合理，有無(wú)死空間，放氣源多否，維修時(shí)是否帶進(jìn)了臟物，被抽容器是否清潔等其他因素。